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無塵高溫箱,無塵烘箱,潔凈烘箱,無塵烤箱,百級無塵烘箱,無塵干燥箱,百級無塵烤箱,100級潔凈烤箱

Class 100 Clean Ovens






Lab Companion 無塵高溫箱系列最高工作溫度300°C。
客戶的標準樣品進入處理流程，均在符合 ISO14644-1 class5* 標準的環境中運行。所有污染微粒的來源完全密封。不銹鋼內壁易清洗，光澤的白色環氧樹脂涂層外墻能防止微粒脫落的污染。
*Federal 209E Class100 標準在2001年已由ISO14644-1 class 5標準取代。




一．用途:
Lab Companion 無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。





二．特點：
1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到*佳溫度控制精度。



三．產品技術參數：



1.主要技術指標：
 無塵等級：Class 100;                  

 溫度范圍： RT+20～ +200℃/+300℃；

溫度均勻度：200℃±4℃;             

溫度波動度：±0.5℃（空載）        

溫控精度：±0.1℃;                        

工作尺寸：216L ,324L,768L,無塵等級和尺寸可根據要求定制。
       

電源：380v , 50Hz，        

網板：2塊（高度可調節)




產品名稱	型號	溫度范圍	潔凈度	內容積	內尺寸(W×H×Dmm)	外尺寸（WxHxDmm）
無塵高溫箱	OVEN-216C	(RT＋20℃)～＋200℃	Class 100	216L	600×600×600	770×1200×925
無塵高溫箱	OVEN-324C	(RT＋20℃)～＋200℃	Class 100	324L	600×900×600	770×1500×925
無塵高溫箱	OVEN-768C	(RT＋20℃)～＋200℃	Class 100	768L	800×1200×800	1030×1800×1145
無塵高溫箱	OVEN-216CH	(RT＋20℃)～＋300℃	Class 100	216L	600×600×600	770×1200×925
無塵高溫箱	OVEN-324CH	(RT＋20℃)～＋300℃	Class 100	324L	600×900×600	770×1500×925
無塵高溫箱	OVEN-768CH	(RT＋20℃)～＋300℃	Class 100	768L	800×1200×800	1030×1800×1145